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Electron-Beam Technology in Microelectronic Fabrication
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来源Elsevier eBooks
年份1980
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摘要与影响
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逐年被引趋势
630
15
616
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26
关键指标
159
被引次数 · OpenAlex
8.07
领域内被引倍数
同类平均 = 1
同类平均 = 1
前 4%
引用位次
同领域 · 同年份 · 同类型
同领域 · 同年份 · 同类型
0
参考文献
Google Scholar 与 OpenAlex 的被引统计范围不同，数值存在差异属正常。
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学术脉络
学科主题
工程Advancements in Photolithography Techniques
Electron and X-Ray Spectroscopy Techniques · Semiconductor materials and devices
参考文献 0
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引用本文 159
Opportunities for mesoscopics in thermometry and refrigeration: Physics and applications
被引 1,059Francesco Giazotto, Tero Tapio Heikkilä, Arttu R. Luukanen · Reviews of Modern Physics · 2006
Improving resolution in photolithography with a phase-shifting mask
被引 654M. D. Levenson, N.S. Viswanathan, R. A. Simpson · IEEE Transactions on Electron Devices · 1982
Periodically structured metallic substrates for SERS
被引 307M. Kahl, Edgar I. Voges, Stefan Kostrewa · Sensors and Actuators B Chemical · 1998
按被引量排序，此处列出前 3 条