研究论文
A novel microwave plasma reactor with a unique structure for chemical vapor deposition of diamond films
Jingjie Su, Y.F. Li, Xian‐hua Li, P.L. Yao, Y.Q. Liu, Minghui Ding, Wei Tang
University of Science and Technology Beijing
来源Diamond and Related Materials
年份2013
阅读操作
确认中在文库中上传 PDF 后可生成中文音频讲解。
摘要与影响
摘要 · 节选
暂未获取摘要。可打开原文或 PDF，后续可基于全文生成更完整的速读。
逐年被引趋势
740
17
18
19
20
21
22
23
24
725
26
关键指标
47
被引次数 · OpenAlex
0.70
领域内被引倍数
同类平均 = 1
同类平均 = 1
前 34%
引用位次
同领域 · 同年份 · 同类型
同领域 · 同年份 · 同类型
21
参考文献
Google Scholar 与 OpenAlex 的被引统计范围不同，数值存在差异属正常。
AI 辅助阅读
依据：文献信息
论文问答
当前基于文献信息回答
可就本文提问；依据不足时会说明。
学术脉络
学科主题
材料 / 化学Diamond and Carbon-based Materials Research
Metal and Thin Film Mechanics · Semiconductor materials and devices
参考文献 21
Gaseous Electronics and Gas Lasers
被引 193Elsevier eBooks · 1979
此处列出前 3 条
引用本文 47
Microwave plasma reactor with conical-reflector for diamond deposition
被引 52Kyongmo An, Shengwang Yu, X.J. Li · Vacuum · 2015
Effect of Substrate Holder Design on Stress and Uniformity of Large-Area Polycrystalline Diamond Films Grown by Microwave Plasma-Assisted CVD
被引 51Vadim Sedov, Artem Martyanov, A. S. Altakhov · Coatings · 2020
Design of a new TM021 mode cavity type MPCVD reactor for diamond film deposition
被引 43Y.F. Li, Jingjie Su, Y.Q. Liu · Diamond and Related Materials · 2014
按被引量排序，此处列出前 3 条