研究论文
Force-induced photocatalytic abrasive in-situ photochemical mechanical polishing 4H-SiC wafers
Yongchi Qi, Jiapeng Chen, Yanan Peng, Zhenlin Jiang, Xue Li, Shusheng Xu, Jianxiu Su
来源Journal of Alloys and Compounds
年份2026
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学术脉络
学科主题
工程Advanced Surface Polishing Techniques
Diamond and Carbon-based Materials Research · Advanced machining processes and optimization
参考文献 33
Ag-loaded ZnO materials for photocatalytic water treatment
被引 141Maria J. Sampaio, Maria J. Lima, Daniel L. Baptista · Chemical Engineering Journal · 2016
Heteronuclear Cross-Relaxation under Solid-State Dynamic Nuclear Polarization
被引 56Diane Daube, Victoria Aladin, Jörg Heiliger · Journal of the American Chemical Society · 2016
UV-TiO2 photocatalysis-assisted chemical mechanical polishing 4H-SiC wafer
被引 124Zewei Yuan, Yan He, Xingwei Sun · Materials and Manufacturing Processes · 2017
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