研究论文

Deposition of SmCo films by remote plasma sputtering: A wafer-scale route to high-performance permanent micromagnets

Sreya Pal, M. Asa, Federico Maspero, R. Bertacco

Politecnico di Milano

来源Journal of Magnetism and Magnetic Materials

年份2026

DOI10.1016/j.jmmm.2026.174531

原文https://doi.org/10.1016/j.jmmm.2026.174531

阅读操作

确认中

在文库中上传 PDF 后可生成中文音频讲解。

摘要与影响

摘要 · 节选

暂未获取摘要。可打开原文或 PDF，后续可基于全文生成更完整的速读。

逐年被引趋势

暂无年度引用数据

关键指标

被引次数 · OpenAlex

0.00

领域内被引倍数
同类平均 = 1

前 34%

引用位次
同领域 · 同年份 · 同类型

参考文献

Google Scholar 与 OpenAlex 的被引统计范围不同，数值存在差异属正常。

AI 辅助阅读

依据：文献信息

论文问答

当前基于文献信息回答

可就本文提问；依据不足时会说明。

学术脉络

学科主题

材料 / 化学

Magnetic Properties of Alloys

Magnetic properties of thin films · Metallic Glasses and Amorphous Alloys

参考文献 46

The impact of substrate bias on a remote plasma sputter coating process for conformal coverage of trenches and 3D structures

H.L. Brown, S.A. Thornley, Steve J. Wakeham · Journal of Physics D Applied Physics · 2015

被引 29

Correlation between sputtering parameters and composition of SmCo-based films for microelectromechanical system applications

Long Peng, Huaiwu Zhang, Qinghui Yang · Journal of Applied Physics · 2009

被引 21

Rare earth-cobalt permanent magnets

Karl J. Strnat, R. M. Strnat · Journal of Magnetism and Magnetic Materials · 1991

被引 271

此处列出前 3 条

引用本文 -

暂无引用本文的记录