研究论文

Influence of operation parameters on BOSCH-process technological characteristics

Artem A. Osipov, Gleb A. Iankevich, Vladimir I. Berezenko, Ekaterina V. Endiiarova

Peter the Great St. Petersburg Polytechnic University　Karlsruhe Institute of Technology

来源Materials Today Proceedings

年份2020

DOI10.1016/j.matpr.2020.01.412

原文https://doi.org/10.1016/j.matpr.2020.01.412

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确认中

在文库中上传 PDF 后可生成中文音频讲解。

摘要与影响

摘要 · 节选

暂未获取摘要。可打开原文或 PDF，后续可基于全文生成更完整的速读。

逐年被引趋势

320

325

关键指标

被引次数 · OpenAlex

0.25

领域内被引倍数
同类平均 = 1

前 51%

引用位次
同领域 · 同年份 · 同类型

参考文献

Google Scholar 与 OpenAlex 的被引统计范围不同，数值存在差异属正常。

AI 辅助阅读

依据：文献信息

论文问答

当前基于文献信息回答

可就本文提问；依据不足时会说明。

学术脉络

学科主题

工程

Plasma Diagnostics and Applications

Semiconductor materials and devices · Advancements in Photolithography Techniques

参考文献 20

暂无参考文献明细

引用本文 9

暂无引用本文的记录

研究论文

Influence of operation parameters on BOSCH-process technological characteristics

Artem A. Osipov, Gleb A. Iankevich, Vladimir I. Berezenko, Ekaterina V. Endiiarova

Peter the Great St. Petersburg Polytechnic University　Karlsruhe Institute of Technology

来源Materials Today Proceedings

年份2020

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