研究论文
Laser direct writing rapid inversion lithography method based on generative adversarial network
Jiaxin Ji, Liang Chen, Fengming Zhu, Yuxuan Li, Bin Wei
China University of Petroleum, East China
来源Materials Science in Semiconductor Processing
年份2026
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学术脉络
学科主题
工程Advancements in Photolithography Techniques
Nonlinear Optical Materials Studies · Laser Material Processing Techniques
参考文献 15
Gradient-Based Source and Mask Optimization in Optical Lithography
被引 62Peng Yao, Jinyu Zhang, Yan Wang · IEEE Transactions on Image Processing · 2011
SVM based layout retargeting for fast and regularized inverse lithography
被引 27Kaisheng Luo, Zheng Shi, Xiaolang Yan · Frontiers of Information Technology & Electronic Engineering · 2014
Machine learning for inverse lithography: using stochastic gradient descent for robust photomask synthesis
被引 93Ningning Jia, Edmund Y. Lam · Journal of Optics · 2010
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