研究论文
Misalignment measurement using circular grating moiré fringes via high-order phase harmonics
YB Yan, Jiantao Yan, Bin Lin, Zhebo Chen
Zhejiang University Taizhou University
来源Optics and Lasers in Engineering
年份2025
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参考文献
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学术脉络
学科主题
计算机 / AIOptical measurement and interference techniques
Advanced Measurement and Metrology Techniques · Optical Coatings and Gratings
参考文献 36
On The Polynomial Approximation for Time-Variant Harmonic Signal Modeling
被引 10Miroslav Zivanovic, J. Schoukens · IEEE Transactions on Audio Speech and Language Processing · 2010
In‐plane displacement sensing from circular grating moiré fringes using graphical analysis approach
被引 21Kin Sam Yen, Mani Maran Ratnam · Sensor Review · 2011
Alignment measurement method for imprint lithography using moiré fringe pattern
被引 17Jinyou Shao · Optical Engineering · 2008
此处列出前 3 条
施引文献 -
暂无施引文献