研究论文

Aging effect of AlF3 coatings for 193 nm lithography

Jia Zhao, Lin Wang, Weili Zhang, Kui Yi, Jianda Shao

Shanghai University　Chinese Academy of Sciences　Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics

来源Optics & Laser Technology

年份2017

DOI10.1016/j.optlastec.2017.09.015

原文https://doi.org/10.1016/j.optlastec.2017.09.015

阅读操作

确认中

在文库中上传 PDF 后可生成中文音频讲解。

摘要与影响

摘要 · 节选

暂未获取摘要。可打开原文或 PDF，后续可基于全文生成更完整的速读。

逐年被引趋势

110

119

关键指标

被引次数 · OpenAlex

0.21

领域内被引倍数
同类平均 = 1

前 48%

引用位次
同领域 · 同年份 · 同类型

参考文献

Google Scholar 与 OpenAlex 的被引统计范围不同，数值存在差异属正常。

AI 辅助阅读

依据：文献信息

论文问答

当前基于文献信息回答

可就本文提问；依据不足时会说明。

学术脉络

学科主题

工程

Surface Roughness and Optical Measurements

Optical Coatings and Gratings · Advancements in Photolithography Techniques

参考文献 28

Vacuum ultraviolet thin films 1: Optical constants of BaF_2, CaF_2, LaF_3, MgF_2, Al_2O_3, HfO_2, and SiO_2 thin films

Muamer Zukic, D. G. Torr, James F. Spann · Applied Optics · 1990

被引 102

Influence of purity of HfO2 on reflectance of ultraviolet multilayer

袁景梅 Jingmei Yuan, 齐红基 Hongji Qi, 赵元安 Yuan'an Zhao · Chinese Optics Letters · 2008

被引 2

Reflectance of Aluminum Overcoated with MgF_2 and LiF in the Wavelength Region from 1600 Å to 300 Å at Various Angles of Incidence

W. R. Hunter, John F. Osantowski, G. Hass · Applied Optics · 1971

被引 72

此处列出前 3 条

引用本文 1

Stability of dielectric multilayer coatings for the Vacuum ultraviolet

Weili Zhang, Zhen Yu, Rui Zhu · 2019

被引 0

按被引量排序，此处列出前 3 条

摘要与影响

摘要 · 节选

暂未获取摘要。可打开原文或 PDF，后续可基于全文生成更完整的速读。

逐年被引趋势

110

119

关键指标

被引次数 · OpenAlex

0.21

领域内被引倍数
同类平均 = 1

前 48%

引用位次
同领域 · 同年份 · 同类型

参考文献

Google Scholar 与 OpenAlex 的被引统计范围不同，数值存在差异属正常。