研究论文
Design, fabrication and characterization of an annularly grooved membrane combined with rood beam piezoresistive pressure sensor for low pressure measurements
Chuang Li, Jianbing Xie, Francisco Cordovilla, Jinqiu Zhou, R. Jagdheesh, José Luis Ocaña Moreno
Universidad Politécnica de Madrid Northwestern Polytechnical University
来源Sensors and Actuators A Physical
年份2018
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摘要与影响
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逐年被引趋势
1470
18
19
20
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24
26
关键指标
38
被引次数 · OpenAlex
2.09
领域内被引倍数
同类平均 = 1
同类平均 = 1
前 13%
引用位次
同领域 · 同年份 · 同类型
同领域 · 同年份 · 同类型
55
参考文献
Google Scholar 与 OpenAlex 的被引统计范围不同，数值存在差异属正常。
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学术脉络
学科主题
工程Advanced MEMS and NEMS Technologies
Sensor Technology and Measurement Systems · Analog and Mixed-Signal Circuit Design
参考文献 55
Euler-Bernoulli beam theory
被引 273O. A. Bauchau, J. I. Craig · Solid mechanics and its applications · 2009
Analysis and Design Principles of MEMS Devices
被引 484Elsevier eBooks · 2005
Enhancing the Performance of MEMS Piezoresistive Pressure Sensor Using Germanium Nanowire
被引 19S. Maflin Shaby, M. S. Godwin Premi, Betty Martin · Procedia Materials Science · 2015
此处列出前 3 条
引用本文 38
Recent Progress of Miniature MEMS Pressure Sensors
被引 261Peishuai Song, Zhe Ma, Jing Ma · Micromachines · 2020
High sensitive, linear and thermostable pressure sensor utilizing bipolar junction transistor for 5 kPa
被引 40Mikhail Basov · Physica Scripta · 2021
Structural Engineering in Piezoresistive Micropressure Sensors: A Focused Review
被引 33Yan Liu, Xin Jiang, Haotian Yang · Micromachines · 2023
按被引量排序，此处列出前 3 条