研究论文
All-fused Silica 248-nm Lithographic Projection Lens
J. Brian Caldwell
Ta Solutions (China)
来源Optics and Photonics News
年份1998
阅读操作
确认中在文库中上传 PDF 后可生成中文音频讲解。
摘要与影响
摘要 · 完整
Get PDF Email Share Share with Facebook Tweet This Post on reddit Share with LinkedIn Add to CiteULike Add to Mendeley Add to BibSonomy Get Citation Copy Citation Text J. BRIAN CALDWELL, "All-fused Silica 248-nm Lithographic Projection Lens," Optics & Photonics News 9(11), 40-41 (1998) Export Citation BibTex Endnote (RIS) HTML Plain Text Citation alert Save article
逐年被引趋势
110
126
关键指标
5
被引次数 · OpenAlex
0.00
领域内被引倍数
同类平均 = 1
同类平均 = 1
前 86%
引用位次
同领域 · 同年份 · 同类型
同领域 · 同年份 · 同类型
0
参考文献
Google Scholar 与 OpenAlex 的被引统计范围不同，数值存在差异属正常。
AI 辅助阅读
依据：摘要
论文问答
当前基于摘要回答
可就本文提问；依据不足时会说明。
学术脉络
学科主题
材料 / 化学Optical Coatings and Gratings
参考文献 0
暂无参考文献明细
引用本文 5
High-order optical aberration coefficients: extension to finite objects and to telecentricity in object space
被引 27Florian Bociort, Torben Andersen, Leo H. J. F. Beckmann · Applied Optics · 2008
Saddle-point construction in the design of lithographic objectives, part 1: method
被引 13Oana Marinescu · Optical Engineering · 2008
Novel design methods for high-quality lithographic objectives
被引 5Oana Marinescu · Research Repository (Delft University of Technology) · 2006
按被引量排序，此处列出前 3 条