研究论文
Advances in Rtp Temperature Measurement and Control
Bruce W. Peuse, Gary Miner, Mark Yam, Curtis Elia
Applied Materials (United States)
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摘要与影响
摘要 · 节选
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逐年被引趋势
110
112
17
22
关键指标
19
被引次数 · OpenAlex
3.22
领域内被引倍数
同类平均 = 1
同类平均 = 1
前 8%
引用位次
同领域 · 同年份 · 同类型
同领域 · 同年份 · 同类型
3
参考文献
Google Scholar 与 OpenAlex 的被引统计范围不同，数值存在差异属正常。
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依据：文献信息
论文问答
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学术脉络
学科主题
工程Calibration and Measurement Techniques
Advanced Sensor Technologies Research · Advanced Sensor and Control Systems
参考文献 3
Theory and Practice of Radiation Thermometry
被引 634Wiley eBooks · 1988
Proceedings of the 1995 American Control Conference
被引 587Proceedings of the ... American Control Conference/Proceedings of the American Control Conference · 1995
此处列出前 3 条
引用本文 19
Iterative learning control applied to batch processes: An overview
被引 280Jay H. Lee, Kwang‐Sik Lee · Control Engineering Practice · 2007
ITERATIVE LEARNING CONTROL APPLIED TO BATCH PROCESSES: AN OVERVIEW
被引 181Jay H. Lee, Kwang‐Sik Lee · IFAC Proceedings Volumes · 2006
Recent developments in rapid thermal processing
被引 54A. T. Fiory · Journal of Electronic Materials · 2002
按被引量排序，此处列出前 3 条