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AI-Driven Feature Recognition of SEM Profiles in Deep Reactive Ion Etching Based on Physics-Constrained Variational Autoencoder

Yi Sun, Fang Wang, Hao Yu, Miao Yu, Ke Sun, Heng Yang, Xinxin Li

Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology

来源Research Square

年份2025

DOI10.21203/rs.3.rs-6758803/v1

原文https://doi.org/10.21203/rs.3.rs-6758803/v1

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关键指标

被引次数 · OpenAlex

领域内被引倍数
同类平均 = 1

引用位次
同领域 · 同年份 · 同类型

参考文献

Google Scholar 与 OpenAlex 的被引统计范围不同，数值存在差异属正常。

AI 辅助阅读

依据：文献信息

论文问答

当前基于文献信息回答

可就本文提问；依据不足时会说明。

学术脉络

学科主题

工程

Ion-surface interactions and analysis

Advanced Memory and Neural Computing · Semiconductor materials and devices

参考文献 0

暂无参考文献明细

引用本文 -

暂无引用本文的记录

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Yi Sun, Fang Wang, Hao Yu, Miao Yu, Ke Sun, Heng Yang, Xinxin Li

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