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Enhancement of Electrical Properties of Morphotropic Phase Boundary in Hf1-Xzrxo2 Films by Integrating Mo Electrode and Tin Interlayer for Dram Capacitors
Ju Yong Park, Hyojun Choi, Jaewook Lee, Kun Yang, Sun Young Lee, Dong Han, Intak Jeon, Chang Hwa Jung 等 11 位
Seoul National University Soongsil University
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学科主题
工程Semiconductor materials and devices
Semiconductor materials and interfaces · Ferroelectric and Negative Capacitance Devices
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