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Growth Mechanism and High Anti-Reflective Coating Application of PEALD-Lif Films Under Various Plasma Powers
Wen-Xuan Zhu, C. P. Wang, Zhi-Xuan Zhang, Qing-Yang Huang, Cong Yi, Yu-Li Su, Jian-Gui Wang, Jie He 等 12 位
Xiamen University of Technology Fuzhou University Fujian Jiangxia University National Chi Nan University
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学科主题
材料 / 化学Optical Coatings and Gratings
Semiconductor materials and devices · Plasma Diagnostics and Applications
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