研究论文
Fabrication of Plasma Resistant Y2O3-Al2O3-SiO2 Coating Ceramics by Melt-Coating Method
Eui Keun Park, Hyun-Kwuon Lee
来源Korean Journal of Materials Research
年份2020
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逐年被引趋势
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关键指标
3
被引次数 · OpenAlex
0.15
领域内被引倍数
同类平均 = 1
同类平均 = 1
前 52%
引用位次
同领域 · 同年份 · 同类型
同领域 · 同年份 · 同类型
6
参考文献
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学术脉络
学科主题
材料 / 化学Advanced ceramic materials synthesis
Glass properties and applications · Advanced materials and composites
参考文献 6
Erosion Behavior of YAG Ceramics under Fluorine Plasma and their XPS Analysis
被引 25Kyeong‐Beom Kim, Daemin Kim, Jung-Ki Lee · Journal of the Korean Ceramic Society · 2009
FUNDAMENTAL CONDITION OF GLASS FORMATION*
被引 612Kuan‐Han Sun · Journal of the American Ceramic Society · 1947
Particle trapping phenomena in radio frequency plasmas
被引 281Gary S. Selwyn, J. Heidenreich, Kurt Haller · Applied Physics Letters · 1990
此处列出前 3 条
引用本文 3
Plasma Resistance of YAS (Y2O3-Al2O3-SiO2) Coating Layer with YAG Phase Contents
被引 3Eui Keun Park, Hyun-Kwuon Lee · Korean Journal of Materials Research · 2020
Fabrication, Microstructure and Plasma Resistance Behavior of Y–Al–Si–O (YAS) Glass-Ceramics Coated on Alumina Ceramics
被引 2Eui Keun Park, Hwan-Yoon Jang, Seo-Yeon Jeon · Materials · 2024
Exploring MgO polycrystalline ceramics as plasma etching resistant materials for semiconductor manufacturing processes under CF4/Ar/O2 atmosphere
被引 0Su Been Ham, Seong‐Hyeon Kim, Ha-Neul Kim · Journal of the Korean Ceramic Society · 2026
按被引量排序，此处列出前 3 条