具有热不敏感低驱动电压特性的112 Gbit/s耦合调制型硅光微环调制器（特邀）

高速率、热不敏感、低驱动电压的硅光子调制器是宽带数据传输、低功耗、高集成密度和稳定运行的光互连系统中必不可缺的核心器件。本文提出并实验验证一种基于耦合调制机理的跑道型硅基微环电光调制器，在峰-峰驱动电压小于1.2 V的条件下，实现112 Gbit/s四级脉冲幅度调制（PAM4）光信号传输。此外，使用氮化硅波导作为谐振腔的主要构成部分，调制器的温度敏感性小于2.5 pm/K，展现出良好的热稳定性，验证了在20 ℃到45 ℃温度范围内的112 Gbit/s PAM4信号传输。