基于游标效应的并联光纤法布里-珀罗温湿度传感器

提出并制备了一种基于游标效应的并联光纤法布里-珀罗温湿度传感器。该传感器由两个分别填充聚酰亚胺（PI）和聚二甲基硅氧烷（PDMS）的法布里-珀罗空腔并联组成，利用PI腔与PDMS腔的自由光谱范围相接近的特点产生游标效应，可显著提高相对湿度（RH）以及温度灵敏度。PDMS作为温敏材料只对温度敏感，PI作为湿敏材料对温湿度都敏感，通过构造灵敏度系数矩阵，实现对温湿度的同时测量。实验结果表明：在30%~60%的RH范围内，RH灵敏度为1.614 nm/%；在30~33 ℃的温度范围内，温度灵敏度高达15.611 nm/℃。该传感器结构简单、灵敏度高，在高精度温度监测方面具有广阔的应用前景。