基于扫描误差修正的高精度白光干涉测量

针对白光扫描干涉测量精度受限于移相精度的问题，提出一种扫描误差修正方法来消除白光干涉信号中的相位误差。在白光扫描干涉仪中加入单色光干涉信号探测装置，采集的单色光干涉信号与白光干涉信号具有相同的相位误差，从单色光干涉信号中得到相位误差并用于修正白光干涉信号。仿真和实验分别从单次测量表面的粗糙度和多次测量的重复率验证了扫描误差修正方法的有效性，此方法在本课题组提出的波数域相位补偿方法的基础上进一步提高了测量精度，可帮助白光干涉仪适应嘈杂的工作环境。